基礎科研條件與重大科學儀器設備開發課題方向

分類：課題研究 發表時間：2021-08-02 11:41 瀏覽量：

　　基礎科研條件與重大科學儀器設備開發課題方向？重點支持高端科學儀 器工程化研制與應用開發，研制可靠、耐用、好用、用戶愿 意用的高端科學儀器，切實提升我國科學儀器自主創新能力和裝備水平，促進產業升級發展，支撐創新驅動發展戰略實施。具體詳情一起跟平臺課題顧問看看以下幾點。

　　1、輝光放電質譜儀

　　研究內容：針對半導體高純材料、高純合金、絕緣固體 樣品等材料中主成分、微量和痕量元素檢測需求，以及針對 材料剝層分析、材料元素深度分布檢測、涂層材料表面分析、 材料表面微區分析等需求，突破直流輝光放電離子源、絕緣 固體第二陰極系統、高分辨電磁雙聚焦質量分析器、法拉第 3 杯與電子倍增管雙檢測器等關鍵技術，開發具有自主知識產 權、質量穩定可靠、核心部件國產化的輝光放電質譜儀產品， 開發相關軟件和數據庫，開展工程化開發、應用示范和產業 化推廣，實現在半導體、高純稀土、高溫合金等材料科學研 究領域的應用。

　　2、第三代基因測序儀

　　研究內容：針對 DNA 基因測序的無擴增、長讀長直接 測序、大容量生物特征信息獲取等檢測需求，突破 DNA 精 確長讀長直接測序、毫秒級時間內皮安量級脈沖微小特征阻 塞電流測量、皮安量級脈沖微小電流原位計量校準等關鍵技 術，開發具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件國產 化的第三代基因測序儀，開發相關軟件和數據庫，開展工程 化開發、應用示范和產業化推廣，實現在基因工程、病毒檢 測、生物安全檢測等領域的應用。

　　3、超高分辨活細胞成像顯微鏡

　　研究內容：針對實時觀察活細胞精細結構動態變化的檢 測需求，突破超高分辨活細胞成像顯微、精密光機電控制、 圖像實時處理和成像標定等關鍵技術，開發具有自主知識產 權、質量穩定可靠、核心部件國產化的超高分辨活細胞成像 顯微鏡產品，開發相關軟件和數據庫，開展工程化開發、應 用示范和產業化推廣，實現在細胞學、微生物學、生物物理 學和藥理學等領域的應用。

　　4、核磁共振波譜儀

　　研究內容：針對化學分析、生物分子結構、代謝混合物 組分等檢測需求，突破超高場穩態磁體設計與制造、高精度 磁共振譜儀控制、高效射頻激發與接收等關鍵技術，開發具 有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件國產化的核磁共 振波譜儀產品，開發相關軟件和數據庫，開展工程化開發、 應用示范和產業化推廣，實現在化學化工、生命醫學、食品 制藥和環境能源等領域的應用。

　　5、5 寬頻帶取樣示波器

　　研究內容：針對 5G 移動通信、光纖通信設備和高速網 絡設備的寬帶模擬電路和高速數字電路開發與檢測需求，突 破 85 GHz 采樣器、超低抖動時鐘產生與觸發、高速時鐘恢復、高精度波形采集與恢復、信號完整性分析等關鍵技術， 開發具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件國產化的 寬頻帶取樣示波器，開發相關軟件和數據庫，開展工程化開 發、應用示范和產業化推廣，實現在光纖通信、5G 移動通 信、雷達、衛星通信與衛星導航等領域的應用。

　　6、高靈敏手性物質離子遷移譜與質譜聯用儀

　　研究內容：針對生物樣品分析、臨床診斷和藥物開發等 領域對手性分子同分異構體快速識別、高靈敏高準確定量分 析的需求，突破離子遷移過程模型仿真與控制、手性物質高 選擇性試劑制備、手性氣相離子高效選擇性存儲、高分辨手 性氣相離子構型差異分析與質量分析等關鍵技術，開發具有 自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件國產化的高靈敏手 性物質離子遷移譜與質譜聯用儀，開發相關軟件和數據庫， 開展工程化開發、應用示范和產業化推廣，實現在生命科學、 臨床醫學和藥物學等領域的應用。

　　7、7 復雜微結構三維光學顯微測量儀

　　研究內容：針對光電探測器、MEMS 微系統、半導體集 成電路等微小型器件和光學器件表面和亞表面缺陷檢測需 求，突破高傾斜光滑微結構、深 V 結構、混合材料層疊微結 構、層疊結構亞表面等復雜微結構三維幾何形狀表征、三維 幾何參數精密測量、亞表面缺陷檢測等關鍵技術，開發具有 自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件國產化的復雜微結 構三維光學顯微測量儀，開發相關軟件和數據庫，開展工程 化開發、應用示范和產業化推廣，實現在超光滑光學表面損 傷、半導體集成電路、光電集成電路等領域的應用。 考核指標：顯微視場≥100μm×100μm；水平方向表面顯 微分辨率 250 nm；水平方向亞表面顯微分辨率 400 nm；垂 直方向分辨率 5 nm～20 nm；光滑微結構測傾斜角度≥50°；單一材料臺階高度測量誤差≤5%；多層材料測量誤差≤10%；亞表面缺陷檢測深度≥110 μm；缺陷檢出靈敏度≥200 nm；深 度定位精度≤2 μm；高能損傷缺陷判定準確率≥80%。項目完 成時通過可靠性測試和第三方異地測試，平均故障間隔時間 ≥3000 小時，技術就緒度不低于 8 級；至少應用于 2 個領域 或行業。明確發明**、標準和軟件著作權等知識產權數量， 具有自主知識產權；形成批量生產能力，經指定用戶試用， 滿足用戶使用要求。

　　8、聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡

　　研究內容：針對集成電路芯片設計修正和失效分析、樣 品 3D 重構、透射電鏡樣品制備等微納尺度檢測需求，突破 高分辨率聚焦離子束、高分辨率場發射電子束獲得等核心技 術，開發具有自主知識產權、性能穩定可靠、核心部件全部 國產化的聚焦離子束/電子束雙束顯微鏡，開發相關軟件，開 展工程化開發、應用示范和產業化推廣，實現在微電子、光 電子、微米納米材料等領域的應用。

　　9、高性能流式細胞分選儀

　　研究內容：針對生物工程、生物安全檢測、醫學研究等 行業血液和細胞分析需求，突破單細胞多色熒光高效分光、 百萬量級細胞數據處理、微流控細胞分選等關鍵技術，開發 具有自主知識產權、質量穩定可靠、核心部件全部國產化的 高性能流式細胞分選儀，開發相關軟件和數據庫，開展工程 化開發、應用示范和產業化推廣，實現在生物工程、生物安 全檢測、醫學研究等領域的應用。

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